
全自動超聲波清洗機
主要功能:清洗烘干
l 名稱:全自動超聲波清洗機(左進右出,干進干出)
l 型號:CSE-ATEKC-1
l 尺寸(參考):約 2500(L)*2000(W)*2000(H)
l 清洗件規格:
l 典型生產節拍:5~10min/籃(清洗節拍連續可調)
3.主體構造特點
設備由于是在一個腐蝕的環境,我們設備的排風方式,臺面下抽風,每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋,槽蓋下有單獨的抽風裝置。設備結構外型,整機主要由機架、工藝槽體、機械手傳輸系統、FFU系統、排風系統、 ;電控系統、水路系統及氣路系統等組成。由于工藝槽內藥液腐蝕性強,設備需要做防腐處理:(1)設備機架采用鋼結構骨架包塑;(2)殼體采用鏡面SUS316L不銹鋼焊接,制程區由耐腐蝕的SUS316L板材組合焊接而成:(3)電氣區設置在設備后上部,與濕區和管路區完全隔離;(4)槽體材料選用耐相應溶液腐蝕的材料;(5)機械手探人濕區部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理。(6)設備酸堿槽之間用風刀隔離。(7)底部配有防漏托盤,厚度不小于10mm,有效防止藥水滴漏到地板。(8)配有掃碼槍,具備通過讀取Cassette上的條形碼調取設備中對應工藝程序的功能。設備的排風系統由引風窗和排風口組成,排風口位于設備后頂都。排風板為可拆卸可調結構,以便清除可能產生的結晶。排風口處設有自動調節風門,即上電打開風門,斷電關閉風門。具有風壓檢測功能,以及氮氣、壓縮空氣壓力報警功能。設備前、后下方均設有維護門。臺面為多孔結構,便于臺面上沖洗水、液的排出。機械手抓取部位位于液面以上,以防止傳遞過程中的交叉污染。所有和芯片直接接觸的化學介質中不允許有金屬出現。頂部增加百級FFU送風,臺面下抽風。設備臺面排列布置如圖1所示,共6個工位,其中2個為上料位和下料位,4個工藝位, ;所有槽工作在潔凈、全封閉的結構中,前面透明PVC觀察窗口。將來清洗片盒手工放在上料位,系統檢測后,由機械手按照設定的工藝程序自動完成片盒在各槽間的傳輸,清洗完成后系統發出報警提出信號,待人工手動取出。設備臺面的左、右前方分別配置PTFE材料的水氣槍,便于工件及設備的清理。